臭氧在空气中以小分子形式存在，作用快速，最终分解为氧（O2），不会在环境中残留，不污染环境，这是选择臭氧作为空气消毒的重要原因。可用于手术室、治疗室、供应室、病房间、制剂室及无菌室等场所的空气消毒。
臭氧对空气中的微生物有明显的杀灭作用，采用30mg/m3浓度的臭氧作用15min，对自然菌的杀灭率达到90%以上。一项在20m3密闭房间内，使用臭氧空气消毒器的研究显示，启动机器30min，空气中臭氧浓度达到10.39mg/m3；启动机器60min，空气中臭氧浓度为18.82mg/m3；关闭机器开窗通风30min，空气中臭氧浓度低于0.2mg/m3。在20m3密闭空间消毒30min，对空气中人工喷染的白色葡萄球菌杀灭率达到99.90%以上；在40m3密闭房间内消毒60min，空气中自然菌的消亡率达到90%以上。值得注意的是，为避免臭氧的危害，消毒空气时必须在封闭空间、无人条件下进行，消毒后至少过30min才能进入。
臭氧消毒在水净化、室内环境及器具消毒等方面已广泛应用，目前也收到医疗卫生消毒领域的日益重视。同其他消毒方法相比，臭氧消毒法具有快捷、高效、稳定、无二次污染等特点，并且存在低能耗、自动化运行、节省人力资源等优势
